本 文 摘 要
“飞秒激光阵列遮罩板”是应用于飞秒激光微加工系统中的关键光学元件，主要用于实现高精度、多光束并行加工（如晶圆切割、微纳结构制备）。结合上海地区的技术资源，以下综合信息供参考：一、核心应用场景,1.微纳结构加工,飞秒激光通过遮罩板（掩模板）形成阵列光束，可在半导体、玻璃等材料表面实现微孔、微槽阵列的批量加工。例...
“飞秒激光阵列遮罩板”是应用于飞秒激光微加工系统中的关键光学元件，主要用于实现高精度、多光束并行加工（如晶圆切割、微纳结构制备）。结合上海地区的技术资源，以下综合信息供参考：
一、核心应用场景
1. 微纳结构加工
2. 生物医疗与科研
二、上海地区相关技术与供应商
（1）飞秒激光设备供应商（含遮罩板配套）
| 公司名称 | 产品与技术特点 | 适用场景 |
| 屹持光电 | 提供TiF-SP钛宝石飞秒激光器（1.5万元起）、K2系列高功率激光器（6万-10万元），支持化光路 | 科研、微加工 |
| 频准激光科技 | 中标上海交通大学飞秒激光器项目（198万元），型号FL-FS-515-10-QCW，具备高稳定性 | 高校实验室、精密加工 |
| 奥徒激光技术 | 代理Amplitude品牌激光器（如Tangerine HP2，268万元），集成光束控制模块 | 工业级微纳加工 |
| 旭为光电 | 供应Cycle SOPRANO系列飞秒激光器（1550nm），可选遮罩板实现多光束并行加工 | 半导体测试、材料加工 |
（2）遮罩板与技术服务
三、技术参数与选型要点
1. 遮罩板关键参数：
2. 系统集成要求：
四、采购与技术支持建议
1. 科研机构：
优先选择集成方案供应商（如奥徒激光、旭为光电），提供设备安装、遮罩板调试及培训服务。
2. 工业用户：
考虑本地化服务能力，例如屹持光电、频准激光在上海设有技术支持团队，响应速度快。
3. 需求：
遮罩板设计需明确加工图案、材料耐受性及激光参数，建议联合光学设计公司（如上海光机所合作单位）开发。
